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PFA系列產品

PFA壓力罐焊接罐可定制耐酸堿本底值低用于半導體顯影設備配件
PFA壓力罐焊接罐可定制耐酸堿本底值低用于半導體顯影設備配件
材料:PFA
規(guī)格:PFA
描述:本產品是一款專為半導體顯影機及其他高純化學液輸送系統設計的關鍵連接部件。采用高純度全氟烷氧基樹脂(PFA)材料,通過專業(yè)熱熔焊接工藝制成采用半導體級PFA原料,嚴格控制金屬離子析出(如Na、K、Ca、Fe等)及顆粒物含量內壁光滑如鏡,不易附···
  • 產品詳情

    本產品是一款專為半導體顯影機及其他高純化學液輸送系統設計的關鍵連接部件。采用高純度全氟烷氧基樹脂(PFA)材料,通過專業(yè)熱熔焊接工藝制成
    采用半導體級PFA原料,嚴格控制金屬離子析出(如Na、K、Ca、Fe等)及顆粒物含量

    內壁光滑如鏡,不易附著顆粒與結晶,減少流體滯留和交叉污染風險
    規(guī)格參數(示例)

    • 材質: 半導體級PFA

    • 常用規(guī)格: 容積50mL - 2L(可根據需求定制);接口尺寸1/4" - 1" NPT、VCR、卡箍式等。

    • 工作溫度: -196°C ~ +260°C(短時峰值)

    典型應用場景

    • 半導體顯影機: 顯影液分配回路、循環(huán)管路、過濾器進出口連接、設備內集成模塊連接。

    • 濕法刻蝕/清洗設備: 高純化學品輸送與混合單元。

    • 化學機械拋光(CMP): 漿料與清洗液管路系統。

    • 光伏與LED制程: 高純濕化學品分配系統。

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